无尘烤箱干燥IGBT模组技术特征体现在三大核心维度：
无尘烤箱洁净环境控制方面，设备采用HEPA与ULPA高效过滤系统，确保腔内颗粒物浓度稳定低于ISO 5级标准，同时通过负压密封技术实现腔体泄漏率＜0.1%vol/h，有效防止外部污染物侵入。温度调控系统搭载多区间PID算法，在40-200℃区间实现±0.5℃的恒温精度，配合横向循环风道设计使腔体温差≤2℃，确保模组受热均匀性。
专用载具设计采用氧化铝陶瓷支架与真空吸盘固定结构，既保证IGBT衬底散热需求，又避免金属接触面机械应力损伤。
无尘烤箱干燥流程集成露点监测与终点判断功能，当腔内湿度降至-40℃露点且维持300秒后自动完成干燥周期，全过程数据记录符合GAMP5规范。该技术方案将干燥合格率提升至99.7%，并使生产节拍缩短至传统工艺的65%。
